在簡要介紹高純水設備(EDI)的基本原理及其應用的基礎上,提出了膜堆結垢是高純水設備使用過程中的主要問題,分析了膜堆結垢的原因及其預防措施,認為有效防止膜堆結垢的關鍵因素:控制高純水設備的進水硬度、CO2濃度等合理的預處理工藝;通過極水室和濃水室中填充離子交換樹脂降低膜堆電阻的結構設計.